什么是熱式質量流量計
熱式質量流量計（以下簡稱TME）是利用傳熱原理，即流動中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關系來測量流量的儀表，氣體進入進氣管道接頭后絕大部分流量過分流器通道，其中很小一部分進入傳感器內部的毛細鋼管，由于分流通道的特殊結構，可以實現這兩部分氣體流量成正比例關系。傳感器經過預熱加溫，里面的溫度高于進入氣流溫度，此時通過毛細鋼管傳熱和溫差量熱發原理測量這一小部分氣體的質量流量。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經過放大后輸出，就完成了質量流量測量的功能。
利用流動流體傳遞熱量改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布效應的熱分布式流量計曾稱量熱式。
為擴大儀表流量，還可采用在管道內裝管束等層流阻流件；擴大更大流量和口徑還常采用分流方式，在主管道內裝層流阻流件以恒定比值分流部分流體到流量傳感部件。
熱分布式TMF可測量低流速（氣體0.02~2m/s）微小流量
熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專門標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。
被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導率變化，測量值會有較大變化而產生誤差。
對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量。
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